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01 主动隔振系统
DT-AVA系列主动隔振系统
采用柔软型膜片式气浮作为被动支撑,实现系统最佳被动隔振性能。气浮采用倒立摆结构,大大降低水平方向固有频率,达到约1.7Hz,垂直方向约2.7Hz。采用超快响应的音圈电机作为致动器,配合超灵敏的速度传感器,实现实时快速振动抵消。采用机械水平调节系统或电控水平调节系统两种选项,满足客户不同稳姿需求。通过先进的主动隔振算法,实现多传感器信息融合和可调电阻尼协同工作。通过多通道台面反馈控制、地面前馈控制和滑台前馈控制,实现六自由度精确隔振控制。
DT-AVS-P电机钢簧款主动隔振平台
采用钢弹簧作为被动支撑,采用超快响应的音圈电机作为致动器,结合超灵敏的速度传感器,实现实时快速振动消除。采用高精度位移传感器和音圈电机进行测量和控制平台位姿。通过先进的主动隔振算法,实现多传感器信息融合和可调电阻尼协同工作。通过多通道台面反馈控制和地面前馈控制,实现六自由度精确隔振控制。无需压缩空气供给。特别适合于电子显微镜等的地面安装和隔振,适合真空应用。
DT-AAA气动伺服阀空簧款主动隔振系统
用于有效控制周围环境以及设备自身产生的微振动的精密除振系统,让受微振动影响敏感的精密实验室设备的性能得到最大限度的发挥。具有迅速衰减滑台瞬间移动时振动的滑台前馈功能,在SFF功能的控制下,实现了振动位移量为最大位移量1/10的突破。频谱显示调整软件,轻松实现一键监控实时振动情况,根据需要设定增益及滤波器控制,设备发声异常情况时用户可以进行初期应对。
DT-AP高压压电主动隔振系统
采用弹性橡胶作为被动支撑。采用超快响应的高压压电叠堆致动器作为执行器,结合超灵敏的速度传感器,实现实时快速振动消除。实现六自由度主动隔振控制。无需持续维护,安装简单,操作方便。无需压缩空气供给,适合真空应用。硬式主动隔振系统,能为支撑设备提供更高刚度,也适合于设备内置主动隔振串联使用。